仪器简介：
英国Q150GB涡轮泵高真空、模块化镀膜系统，自动程序控制，傻瓜相机式的简单操作。其镀膜单元可置于各种手套箱内，外置触摸屏用户界面、电源单元和前级机械泵。可监测手套箱压力。该系统不同的配置可以实现离子溅射镀膜、碳蒸发/金属蒸发镀膜或溅射蒸发二者兼有之功能，可用于SEM、TEM及薄膜样品镀膜，也常用于锂电池科研等需要在手套箱内镀膜的样品。

技术参数：
技术规格
仪器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 总重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm Dia (内部) x 214mm H
安全钟罩:整体PET
样品台：直径为50mm的旋转样品台。转速8-20 rpm
真空范围: 10-5 mbar量级
溅射可选靶材：Au金、Au/Pd金钯合金、Pt铂、Pt/Pd铂钯合金、Ag银、Al铝、C碳、Cr铬、Co钴、Cu铜、Fe铁、Ir铱、Mg镁、Mo钼、Ni镍、Pd钯、Sn锡、Ta钽、Ti钛、W钨、ITO氧化铟锡等