機台特點:
包括：明場，暗場，DIC襯度，偏光和落射熒光。最多可以在物鏡轉換器上安裝五個物鏡。特別適用於在高倍率物鏡時對產品觀察測量。
   型號及產品參數
     2010（測量範圍：X軸200mm,Y軸100mm）
     3020（測量範圍：X軸300mm,Y軸200mm）
     4030（測量範圍：X軸400mm,Y軸300mm）   
  Z軸測量範圍：150mm，
   顯示器分辨率：0.001um\0.0005um\0.0001um可選配
  應用於：半導體封裝，焊接貼片，環路高度，FPD面板（LCM），MEMS,晶片級CPS,硬盤滑行磁頭。
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