主要特點：

  該供氣系統是一種可控制三種氣體按不同流量進行混合配比，也可根據實驗需求加裝洗氣裝置，質量流量計安裝于密封的可移動機櫃內，由超潔雙拋不鏽鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。觸摸屏控制.

技術參數：

工作電壓：185~245V，50 Hz

最大輸出功率：18W

流量計標準量程：5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm（非特殊指定以氮氣標定，量程可選）

工作溫度：4~45℃

工作壓差：0.1~0.5Mpa

最大壓力：3Mpa

準確度：±1.5%F.S

壓力表測量範圍：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

針閥：304不鏽鋼

混氣罐：Φ80*120mm

截止閥：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm