ALD原子层沉积系统
| 型号： | - |
|---|---|
| 品牌： | SVTA |
| 原产地： | 美国 |
| 类别： | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
| 标签︰ | 原子层沉积 , 镀膜机 , 原子层 |
| 单价： |
US $180000
/ 台
|
| 最少订量： | 1 台 |
产品描述
NorthStar ALD 系统
l NorthStar ALD系统提供各种淀积方法，包括热淀积以及能量增强淀积。
l 每台设备可以提供多达8个先驱源管路以及一个热壁淀积腔，使其应用范围极为广泛。
l 设备的快速舱口盖或装载室（可选件）使样品操作快捷方便。
l NorthStar ALD系统不但能跟其他设备连接起来，还能连接多种测量仪器。
l 原位测量工具以及RoboALD软件自动化系统提高了工艺的再现性。
l 可以直接升级至超高真空
l 提供工艺演示以及工艺培训服务
会员信息
| 北京中精仪科技有限公司 | |
|---|---|
| 国家/地区︰ | 北京市海淀区 |
| 经营性质︰ | 贸易商 |
| 联系电话︰ | 13311166027 |
| 联系人︰ | 于耀宇 (网络推广) |
| 最后上线︰ | 2013/02/01 |
