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真空磁控溅射镀膜机MRC603
型号:
MRC603
品牌:
MRC
原产地:
美国
类别:
工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰
薄膜电池
,
真空溅射
,
进口镀膜
单价:
¥1280000 / 件
最少订量:
1 件
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产品描述
1
、设备名称:
MRC603
真空溅射镀膜机
2
、设备品牌:美国
MRC
3
、设备规格:
MRC603
4
、设备介绍:
MRC603
采用独特的立式结构设计及特殊结构的阴极,可实现高溅射,膜厚均匀性和高靶材有效使用率,从研发应用到大批量生产,可沉积介质膜、金属膜等,主要用于集成电路制造、平板显示器、光刻掩膜版、通讯网络、化合物半导体器件、射频功率器件和光电子器件等。
本系统可分为预真空室、溅射区域、
RF
离子清洗,
预真空室具有基片承载盘升降机,使得装卸基片和溅射工艺同时进行,从而实现
“in-line”
连续在线工作方式。
12”
x12”
尺寸的基片承载盘,可放置不同尺寸及形状的基片。
9
个
4”
基片
/
次,
6
个
6”
基片
/
次,
1
个
12”
基片
/
次。
会员信息
深圳市昊光机电科技应用有限公司
国家/地区︰
广东省深圳市
经营性质︰
生产商
联系电话︰
13631617125
联系人︰
王明 (经理)
最后上线︰
2020/08/29
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