5C22产品系旁热式氧化物阴极的中小功率的玻璃结构三极管，在医用加速器中作DEQ管。
基本参数
作用 高速脉冲开关
热丝及发生器电压（Uf） 6.3V
热丝电流（If） ≤11.6A
峰值正向阳极电压（Ûa） 16kV
峰值阳极电流（Îa） 400A
平均阳极电流（Ïa） 0.5A
阳极电流宽度（τai） 2.8μs
无载一栅电压（Ug1p） 200
有载第二栅偏压（Ug2L） -
脉冲重复频率（fcp） 400Hz
阳极电流上升速率（dÎa/dt） 1000
栅极电压上升速率（dUgp/dt） -
功率因子（Pb） 3×109V A Hz
时间跳动（ΔtzT） 40ns
环境温度（T） -55-+85℃
栅极阻挠 -
安装方式 管底插装
无载二栅电压（Ug2p） -