• 电子枪：冷场发射型
• 分辨率：15KV：≤1.5nm（WD：12mm），
1kV：≤2.1nm
• 加速电压：0.5～30kV
• LOW MAG模式：×30～2,000
• HIGH MAG模式：×250～500,000
从阴极发出的电子经电压加速和物镜缩小,
形成很细的电子束聚焦于样品表面上, 电子
束在样品表面逐点扫描, 引起二次电子发
射。
二次电子经探头形成二次电子信号, 二
次电子信号经预放大、比较放大器、多道脉
冲高分析仪、数据处理机及场发射定量系统
的数据同步处理, 最终将样品图象显示在显
象管屏幕上。