HERA-DLTS

高能分辨率深能级瞬态谱（DLTS）

 

我们在1990年推出了第一台数字DLTS，随着电脑技术的发展，使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上，用各种数学模型分析测量到的瞬态过程，如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS（等温瞬态光谱）信号重叠法、温度扫描信号重叠法（重折叠）。与其他系统相比，HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率。

 

特点

l         自动接触检查

l         常规测试和加强软件

l         自动电容补偿

l         三终端FET电流瞬态测量

l         大电容和浓度范围

l         灵活性高、模块化硬件

l         支持各种冷却仓和温度控制器

l         傅里叶转换（F-DLTS），比例窗口和用户自定义校正功能

l         DLTFS（深层瞬态傅里叶光谱仪）评价

 

操作模式

l         C-DLTS(电容模式)

l         CC-DLTS(定电容模式)

l         I-DLTS（电流模式）

l         DD-DLTS（双关联模式）

l         Zerbst-DLTS

l         O-DLTS（光激发模式）

l         FET-Analysis

l         MOS-Analysis

l         ITS（等温瞬态光谱仪）

l         缺陷分析

l         俘获截面测量

l         I/V, I/V(T) 查理森Plot分析

l         C/V, C/V(T)

l         TSC/TSCAP

l         PITS（光子诱导瞬态谱）

l         DLOS(特殊系统)