大负载型除振装置SAF系列

 

为精密仪器量身定制的高精度\低成本 除振系统

该除振装置不仅拥有优异的性能，同时兼备了很好的灵活性。现如今越来越多的精密仪器需要将除振装置直接与仪器连接，能够充分满足这类需求的除振装置就是我们的SAF系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能还兼备了很强的拓展性。该系列可以为精密仪器提供更为理想的除振环境。

■技术领先\业绩显著的明立除振的空气弹簧式除振系统

·半导体制造及检查装置 ·液晶制造及检查装置 ·电子显微镜 ·激光显微镜 ·激光加工装置 ·坐标测定装置 ·精密加工 ·其它

采用了在显微镜、激光等的应用技术和半导体制造、检测装置等领域里被广泛使用的，并且有出众业绩的空气弹簧系统。从几个Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气，空气弹簧下部的防震橡皮也照样能够保护负载仪器的精密构造。

■具有通用化的组合件形式
跟设备组装在一起的时候，除振系统所需的空间很小， SAF系列正是将空气弹簧与高灵敏度水平传感器集成为一个小型组件的系列。从而可以不用大幅度改变设备本身的规格就能进行安装，进而获得很高的除振性能。

■总体高度统一为185mm（浮起时）
这种除振系统总体高度统一为185mm。万一由于设计的变更而使上面搭载板上的负载仪器重量有增减时，也能在不变更装置高度的前提下满足要求。

■可负载范围广
需要除振的精密仪器每年在种类以及使用目的上都会越来越多样化。根据精密仪器的重量，明立除振拥有从SAF-80到380 的11个种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上的大型精密仪器的负载。

■也适用于在净化室使用
当在高等级的净化室内使用时，可以改用能集中排放空气的专用于净化室的维持水平传感器。（因为是特殊产品，详细情况请另行咨询。另外，不可变更为双级传感器。）

■即时应对负载物的移动
当负载物移动、线路板交接、自动加工、测量机等负载量发生变化时，使用弹性体的空气弹簧就必须恢复到原有位置。SAF系列为了控制空气弹簧，将明立独创的高灵敏度水平传感器作为标准配置，实现了在垂直方向上的重复位置精度达正负200微米。另外，近年还有些因为移动负载的高加速度导致平台摇晃问题的案例。使用双级传感器既可以减少摇摆时间,同时重复位置精度也可以达到正负±100微米， 作为被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。（如果移动负载摇摆时间上有任何问题，请务必与我们联系。）

主要规格

型式	SAF-80	SAF-100	SAF-120	SAF-140	SAF-160	SAF-180
固有频率	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空气弹簧
制振方式	有阻尼的空气阻尼孔
保持水平方式	自动维持水平机构（回复精度±200μm）
机体尺寸 W×D×H(mm)	170×170 ×185	180×180 ×185	200×200 ×185	210×210 ×185	240×240 ×185	250×250 ×185
机体重量(kg) [1个空气弹簧]	10.5	14	15	19	21	27.5
负载量(kg) [使用4个空气弹簧时]	560	880	1200	1700	2200	2800
供给压力	0.40～0.70MPa（空气源：压缩机・工厂空气・氮气瓶）

 

型式	SAF-200	SAF-230	SAF-270	SAF-330	SAF-380
固有频率	垂直・水平:2.5～3.0Hz
除振方式	空气弹簧
制振方式	有阻尼的空气阻尼孔
保持水平方式	自动维持水平机构（回复精度±200μm）
机体尺寸 W×D×H(mm)	260×260 ×185	300×300 ×185	320×320 ×185	370×370 ×185	430×430 ×185
机体重量(kg) [1个空气弹簧]	32	43.5	52	67.5	90
负载量(kg) [使用4个空气弹簧时]	3600	4600	6400	9600	13000
供给压力	0.40～0.70MPa（空気源：压缩机・工厂空气・氮气瓶）

 

选择机种以及组装装置设计的注意事项

·支持负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好.

·负载物(包括负载台)的重心位置,需要在如下图指示范围内.

·在负载台上有移动工作台的状态下,最好在考虑有偏载的条件下选择SAF.如果负载台有摇晃的情况,在对稳定时间有要求的情况下,请联系我们.(如果可以告知移动物的重量,速度,加速度等情况的话,  我们可以告知方法.)

·负载台外周如果有附加物，需要确保10mm以上的空隙。

·在运输组装装置时，若不能拆开负载台和架台，需要用固定用螺丝或者金属零件等安装后才能运输。

·为了更好的发挥除振性能，负载台和架台最好都选择高刚性的。

·SAF系列中，空气弹簧4个为一套是基本配套，如果需要变更个数的话，可以联系我们。