一般工厂中；若对付像氢氟酸研磨制程所产生的废水, 可以氯化钙或消石灰等添加沉淀剂在适当的pH条件下混凝搅拌之,会得到很好的去除效果. 于废水治理上,也并无太大问题.

然当有些厂因含氟的有机废水形成时, 若仍想能有效的去除氟化物, 却因于制程中混合了他种药剂, 或因温度压力等因素所衍生出的复杂聚合物, 以一般的氯化钙等化学法处理, 效果将大大降低. 所以通常皆以燃烧法去除之. 如此对于能源的损耗及硬体设备投资皆所费不赀.

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