特气柜尺寸：800长×540宽×1800高

控制柜尺寸：800长×230宽×320高

PN2入口压力 80PSI，1/4 MALE VCR接口

GN2入口压力 80PSI，1/4 MALE VCR接口

CDA入口压力 4-10bar，1/4卡套接口

VENT  1/2VCR接口

工艺气体出口 两路1/4 MALE VCR接口

特气柜柜体换气量: SiH4-1200次/小时，其余300次/小时

电源：220V（半自动）    防爆玻璃观察窗（标配）

（根据实际需要可安装称重、报警、加热装置）

◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）

◆按操作方式分类：手动、半自动。

◆气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。

◆气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测 。

◆气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。

◆完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。

 

特气柜主要应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。

 

我公司制作特气柜具备以下优势：

 

◆交货期短，常用配件备有大量库存。

◆根据不同客户要求，可灵活改变设计方案。

◆配件均为进口知名产品，气柜有专职人员检验检漏，保证质量合格。

◆完善的售前、售后服务，赢得客户认可。例如，清华大学，北京大学，中科院半导体所等。

 

我们的特气设备有：电子级特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜)，气体流量控制箱(Gas Box by MFC),气体配比箱(Gas Box by Flow Meter)，阀门箱（VMB）,阀门盘（VMP），气体侦测器（Gas Detector），废气处理设备(Scrubber)。我们的产品有：美国PARKER调压阀、FPA接头，日本JSK卡套接头，日本FUJIKIN VCR接头，高纯KUZE/ASFLOW BA/EP 不锈钢管，高纯NKS压力表，气体压力传感器，气体压力开关，高纯OHNO/Fujikin隔膜阀，Parker过滤器，Brooks/Fujikin气体质量流量计。