BROOKS流量计5850E

流量范围

相当于0－3 sccm到0－3000 sccm氮气（N2）的范围

在SEMI（半导体设备和材料协会）标准压力和温度（0ºC和101kPa）条件下测得

注：满程流量范围大于50 sccm

性能：校准后为满量程±1％，大于20slpm时为满量程±1.5％。

可重复性：0.25％

控制范围：50：1

安装状态灵感度：复零后，比指定精确度误差不到±0.5％量程。

温度敏感度：零点：小于±0.075％量程每摄氏度

量程：比最初校准刻度小±1.0％量程（在10－50摄氏度）

压力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

输出电压：0－5伏直流（200K欧姆的输出电阻）

输出信号：输出0－5伏直流到2000欧姆或更高的负荷

           输出5±0.1伏直流（参考），最大负荷2000欧姆

最大操作压力：1500psig ;5-50psid压损（最小压损根据气体和周围环境具体而定）

温度、外界/气体：41－149ºF（5－65ºC）

完全泄漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常闭阀（或常开阀/流量≤2.5slpm）

            3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

            常开阀/流量>2.5slpm

            10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

构造材质：

标准接液部分采用不锈钢材质，可供选择的还有;Kalrez或Buna-N

连接：

硬件连接：标准9/16－18UNF不锈钢压力接头(Swagelok)，可选：VCO或VCR

电气连接：卡连接器（镀金）或D型连接器（DA－15P）