离子注入作为微电子工艺中重要的掺杂技术，在优化材料表面性能方面发挥着关键作用。离子注入工艺对材料的高温性能和耐化学侵蚀性能要求非常高，因此，电离室主要部件均采用由钨、钼或石墨材料。科威多年来一直对离子注入行业用钨钼材料进行生产研发，拥有稳定的生产工艺和丰富的经验。
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