型号

100C

120C

120H

120H-S

驱动器

行程

100mm

120mm

导轨精度

0.4μm /60mm

0.4μm /80mm

0.3μm /80mm

0.3μm /100mm

光栅分辨率

1μm

1μm

0.5μm

0.5μm

X轴精度

(5+1.5L/10000)μm

(3.8+L/10000)μm

(3.2+0.07L/10000)μm

(2.4+0.05L/10000)μm

测量速度

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

0.1mm/s、0.2mm/s 0.5mm/s、0.8mm/s

自定义测量速度

-

-

●

●

Z1传感器

传感器类型

光栅传感器

10mm量程

●

-

-

-

12mm量程

-

●

-

-

24mm量程

-

○

●

-

40mm量程

-

-

○

●

50mm量程

-

-

-

○

分辨率

0.2μm

0.1μm

0.05μm

0.05μm

Z1精度

（3+0.1%H）μm

（2.2+0.08%H）μm

（1.8+0.07%H）μm

（1.8+0.05%H）μm

测力

1.8mN

1.5mN

1.2mN

0.7mN

Z2立柱

行程

280mm

320mm

400mm

400mm

电动驱动

○

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●

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手动驱动

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○

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-

钢制立柱体

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○

-

-

大理石立柱体

○

●

●

●

机台结构

一体式

-

○

●

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分体式

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●

-

-

自动化配置

测针自动抬起

-

○

●

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测针自动回位

-

○

●

●

Z1自动接触

-

○

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配件

Ф8标准球

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●

●

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Ф12标准球

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●

●

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Ф18标准球

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●

●

●

量块组

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调整旋转工作台

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●

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精密正弦平口钳

○

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精密V型块

○

○

○

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17度斜测针

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●

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锥形测针

○

○

○

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斧形测针

○

○

○

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直式测杆

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●

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偏心式测杆

○

○

○

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小孔测量杆

○

○

○

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备注：● 代表标配   ○ 代表选配 - 代表不可选