型号

RS290C

RS295C

RS380C

RS385C

RS390C

RS395C

机台结构

一体式

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分体式

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气浮回转轴系

一级精度(0.025+0.0002H)μm

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二级精度(0.05+0.0003H)μm

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三级精度(0.1+0.0005H)μm

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四级精度(0.15+0.001H)μm

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承重23Kg

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承重43Kg

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承重65Kg

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回转直径260mm

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回转直径320mm

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回转直径600mm

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转速

1.5-8转可调

立柱系统

行程

220mm

320mm

620mm

电动驱动

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钢制立柱体

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大理石立柱体

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光栅分辨率

1μm

0.5μm

0.5μm

1μm

0.5μm

直线度

0.3μm/100mm

0.3μm/100mm

0.2μm/100mm

0.5μm/100mm

立柱对轴心线平行度

0.5μm/200mm

0.5μm/320mm

1μm/320mm

5μm/620mm

横向系统

光栅分辨率

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0.05μm

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0.05μm

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0.05μm

电动驱动

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手动驱动

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传感器

电感传感器

量程

600μm

最小分辨率

0.01μm

圆周采样点

4096点/圈

8192点/圈

8192点/圈

16384点/圈

4096点/圈

8192点/圈

附件

精密调心调平工作台φ150

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精密调心调平工作台φ180

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精密调心调平工作台φ240

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标准玻璃半球

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定标块

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直径标准件

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精密二号卡盘

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精密三号卡盘

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精密四号卡盘

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测针φ2

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测针φ1

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测针φ4

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