晶圆玻璃平面度检测仪特点：

·激光平面度测量仪采用全伺服闭环控制，全自动测量功能；

·空间面补偿，保证机器的高精度；全花岗石结构，高精度花岗石底座，立柱，保证机器的长期稳定性；

·精密丝杠传动，高速，无间隙，灵敏可靠，定位准确，运动精度高；

·激光通州哦自动测量仪采用专利三度空间灯光照明系统：在面对某些特殊被测量物时，可利用不同的光线效果以凸显被测物的特性以更精准地抓取尺寸并达到高重复精度的上光源精准测量功能；

·高分辨率彩色CCD，高清晰度影像效果，高品质的画面；

·鼠标操控全CNC功能：自动对焦，自动量测，自动寻边，自动灯光调整，自动倍率切换，保证测量高效率。

·平整度测量仪具有七海业界领先的专业版测量软件EF系列供选择搭配。

晶圆玻璃平面度检测仪适用行业：

可对研磨完毕的安全阀阀座阀瓣进行平面度度进行测量。广泛应用于餐饮、电子、机械五金零件、电镀、汽车、航空、国防武器、钟表、玻璃制品、特种陶瓷、机械密封、化纤、医疗器械、液晶光学、珠宝、轴承等众多行业领域。

晶圆玻璃平面度检测仪技术参数：

·光栅尺分辨率：0.5μm

·测量精度：XY（3+5L/1000)μm

·控制方式：自动

·摄像机：1/3" 彩色CCD摄像机，520TV线

·光源：轮廓光LED冷光源，亮度连续可调

        表面光LED冷光源，亮度连续可调

·总放大倍率：100X（光学放大倍率为2倍）

·选配功能：七海16向全视角旋转灯源系统

        七海12段自动变焦镜头

        激光位移感测系统

·工作距离激光：37mm/镜头65mm

·电源：220V±10%，50Hz（用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）

·工作环境：20℃±2℃，温度变化<2℃/hr ，湿度45%~75%，振动<0.002g，低于15Hz