CMPコンディショニング CMPコンディショナ
VLSIの制造プロセスにグローバル平坦化技术として、CMPが利用されています。CMPでの研磨レートを安定化するために、パッドのコンディショニングは不可欠です。旭ダイヤでは、多様化するCMPに対応すべく、形状、仕様などに合わせ、様々なコンディショナを制作し、用意しています。