QMG700分析型质谱仪
产品简介：
QMG700分析型质谱仪，卓越的检测极限具有超强的稳定性和精确分辨率。产品详细 QMG700分析型质谱仪 的详细介绍

在半导体制造技术的快速进步，依靠迅速而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择INFICON QMG 700分析质谱仪，通过检测壁垒，推动你的进程，以​​创新的一个新的水平。该QMG700提供无与伦比的性能和适应性模块化设计。提升您的竞争优势与QMG700 ，实现测量能力的高水准。

从广泛的离子源，质量过滤器和RF电源选项中进行选择，来定制您的QMG 700到特定的应用程序。该QMG 700拥有超过九十年的动态范围和ppb的检测限，使其成为超高真空测量的理想仪器。 QMG 700提供单元的分辨率在其整个质量范围内，而对于低质量甚至更高的分辨率。该仪器是一个极好的选择了最具挑战性的测量，包括同位素分析，如氦和氘的分离。与QMG 700控制过程，并依靠其卓越的长期稳定，保护关键测量。

四十余年分析质谱卓越的INFICON确保QMG 700是您下一次气体分析投资的正确选择。为了获得一致的准确度和精确的结果，你可以依靠INFICON QMG 700和我们的全球应用经验。

规格类型 QMA 400 QMA 410 QMA 430
Mass Range 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
Sensor Length 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
Rod Diameter 8 mm 16 mm 8 mm
Rod Material Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
Flange DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
Detector Type Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
Max. Operating Pressure (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
Max. Operating Pressure (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
Sensitivity 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
Minimum Detectable Partial Pressure 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
Resolution (adjustable) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
Partial Pressure Ratio < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
Max. Operating Temp. Sensor 150 °C 150 °C 150 °C
Max. Bakeout Temp. 400 °C 400 °C 400 °C
Max. Operating Temp. Electronics 40 °C 40 °C 40 °C
Measurement Speed 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
Power Supply 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 is available for mass ranges: 1-512 amu, 1-1024 amu, 1-2048 amu.

QMA 400 specifications based upon 512 amu mass range, cross beam ion source system configuration



(2) QMA 410 is available for mass ranges: 1-16 amu, 1-128 amu, 1-340 amu.

QMA 410 specifications based upon 128 amu mass range, cross beam ion source system configuration