Manual analytical probe station, up to 6" （手动分析探针台，最大晶圆尺寸6"）
Magnification: 500X (25X objective x 10X eyepieces x 2X zoom) (放大倍数：500X，（物镜25X、目镜2X、变焦2X）)
Additional objectives: 8X & 2.25X （附加物镜倍数：8X、2.25X）
6" x 6" stage travel（行程：6" x 6"）
No Z travel on stage (only micropositioners) （没有Z向行程（只有微定位器））
Focus block for Z travel （Z向行进包含聚焦块）
Bridgemount moved block 6" in Y & 8" in X （Bridgemount移动块x向行进8"、Y向移动6" ）
Chuck moves 6" x 6" in X & Y （卡盘在XY向行程6" x 6"6" x 6"）
Platen controlled up and down by arm.（机械臂控制压盘升降）