BOE就是buffer oxide etch.

本公司供用的BOE（腐蚀液）为高纯化学品，等同于美国的SEMI C7标准，控制0.5、0.3um颗粒，控制三十多个金属元素，单项金属元素控制在10ppb以下。

BOE的主要化学组成包括氢氟酸（HF）和氟化氨（NH4F），氢氟酸是主要的蚀刻成份。氟发氨是作为氢氟酸的（缓冲剂），以补充氟离子在溶液中因蚀刻反应的消耗。

BOE蚀刻液常用来作为氧化层图案的蚀刻，在半导体工业中常广泛使用于蚀刻无光刻胶护罩的氧化层。

性状：氟化铵的酸性溶液，无色透明，密度（25℃）1.06g/ml。呈酸性，遇热分解。 
2. 用途：氧化硅层的缓冲氧化腐蚀剂，主要用于集成电路的生产。
3. 贮存及运输
    ⊙ 酸性腐蚀品。密闭包装，并贮存于阴凉通风处