连续性ITO导电玻璃磁控溅射生产线

1) 真空室体材料采用 SUS304 ，真空室内壁进行抛光处理，外壁采用抛光后喷珠处理。
2) 真空室之间采用独立门阀—插板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。目前我们公司采用插板阀设计，它比目前国内通用的翻板阀密封效果更好，更耐用。
3) 传动采用磁导向，保障传动的稳定性。整条生产线的各段速度采用变频调速电机驱动，运行速度可调节。
4) 电气控制系统：触摸屏与 P L C 自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制技术参数
1) 极限真空压力：6× 1 0E-4 Pa
2) 平均生产周期：根据产品确定
3) 基片架尺寸：可以根据要求定做
4) 膜层均匀性: ± 3％先进的移动磁场技术大大提高了靶材利用率
分段式加热设计，有利于工艺优化。