木材微波真空干燥是一种高技术、高品质的干燥方法，常用于成品合格率要求高的难于干燥的木材。木材微波真空干燥机的优点是用低温可以使水分加快蒸发。微波真空干燥在进行木材干燥时，木材内部空气的通气性对干燥性能的影响较大。通气性好的木材，由于减压，干燥效果就特别好。
木材烘干设备上的蒸汽发生装置，可生产大量的常压蒸汽，可根据干燥工艺的要求，适时将蒸汽送入干燥室内，对木材进行喷蒸、调湿处理，调湿系统是一个独立蒸汽系统，配有安全装置。饱和湿蒸汽可在短时间内使木材的表面温度和内部湿度趋于一致，从而达到了木材内部和外部同时干燥的目的，对坚实、厚重的硬、厚木材，可采用间断加热烘干工艺，解决了木材在烘干过程中出现的内裂、端裂、变形等缺陷，使优质木材成品率大大提高。