型号: | JR500*500*1200 |
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品牌: | 金瑞来 |
原产地: | 中国 |
类别: | 电子、电力 / 其它电力、电子 |
标签︰ | CVD炉厂家 , 株洲金瑞CVD炉 , CVD价格 |
单价: |
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最少订量: | 1 件 |
化学气相沉积炉应用领域
化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格
产品型号/规格W×H×L(mm) |
600*600*1000 |
800*800*1200 |
1000*1000*1500 |
1200*1200*2500 |
1500*1500*3000 |
2500*2000*3600 |
装载重量(KG) |
350 |
800 |
1500 |
2500 |
5000 |
10000 |
最高温度(℃) |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
温度均匀性(℃) |
±7.5 |
±7.5 |
±7.5 |
±10 |
±10 |
±15 |
加热功率(kw) |
250 |
360 |
480 |
600 |
900 |
1200 |
极限真空度(Pa) |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
压升率(Pa/h) |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
0.67 |
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准。 |
化学气相沉积炉主要配置
u 炉门:丝杠升降//液压升降/手动升降;手动锁紧/自动锁圈锁紧
u 炉壳:全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
u 炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
u 加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
u 工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进口/国产
u 真空泵和真空计---进口/国产
u PLC:欧姆龙/西门子
u 控温仪表:日本岛电/英国欧陆
u 热电偶:C分度号/S分度号/K分度号/N分度号
u 记录仪:无纸记录仪/有纸记录仪;进口/国产
u 人机界面:模拟屏/触摸屏/工控机
u 电器元件:正泰/施耐德/西门子
u 料车:滚道式/叉车式/叠加式超长传输料车
化学气相沉积炉技术特征
n 本化学气相沉积炉最大工作区尺寸可达2.5m×2m×4.5m,能满足超大型工件化学气相沉积处理需求;
n 本化学气相沉积炉采用多温区独立控温,温度均匀性好;
n 本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
n 本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
n 本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理。
付款方式︰ | 面议 |
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株洲金瑞中高频设备有限公司 | |
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国家/地区︰ | 湖南省株洲市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13973343673 |
联系人︰ | 罗选民 (工程师) |
最后上线︰ | 2020/08/17 |