明电舍(MEIDENSHA)真空电容器

 

明电舍通过40年对真空断路器的开发制造，积蓄了该领域的丰富技术经验，成功开发制造出高性能,高信赖的真空电容器。真空机器的制造，通常有两种方式1）由真空泵不停排气方式,2)制造中的真空封闭方式。本公司的真空电容器，采用了真空封闭方式进行制造，并且采用了长时间保持真空状态的构造。其产品用于：液晶屏面板制造装置领域，太阳能电池板制造领域，医疗・测量机器领域，半导体制造装置领域，广播电视播放领域，科学研究领域等

 

真空电容器MEIVAC的特征是

高耐电压 真空的耐电压高，易于实现小型化；
低损失 可以适用于高RF频率；
大电流通电 无整流子结构形式，适合大电流；
高信赖性 具有自我恢复性，可以承受瞬间过电压；

 

 

规格

形式	SCV-155M	SCV-510M	SCV-514M
高峰试验电压 [kVp]	15	5	5
静电容量[pF]	50-500	50-1000	90-1400
RF动作电压 [kVp]	9	3	3
直线可变性 (pF/N)	42±4 (65pF 以上)	88±6 (80pF 以上)	115±8 (150pF 以上)
转速（回）	12±1	12±1	12±1
最大容许电流 [Arms] (at 13.56MHz)	100	100	100
回转转矩（N?cm） (kgf?cm)	24.5 2.5	24.5 2.5	24.5 2.5
重量（kg） 尺寸（长度×直径） (mm)	1.3 140×φ73	1.35 140×φ73	1.4 140×φ73

 

真空电容器 MEIVAC
MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻抗整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路

近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻抗

整合应用领域。

 
真空可变电容器
真空可变电容器是通过移动真空容器内的电极而实现静电容量的变化的电容器。
除了了装置115MM标准的型号，还搭载了耐高压特殊电极的黄金型号，同时通过风箱构造以及增强材质的大电

流低扭矩型（H系列）。

标准型特点 
1 寿命长
  采用高强度的不锈钢风箱，实现可变范围二分之一以下的风箱寿命达100万循环。同时通过高强度特殊螺钉

构造，在可变范围二分之一的情况下实现总回转数1000万以上的长寿命。
2微型化
  陶瓷中心栓与外围共振器一体化从而是微型化得以实现。
  统一设为全长140MM（装置标准115MM），容易实现机器安装时的可更换性。 

 

强电流低扭矩型特点 
    强电流通电
    风扇采用铜合金新材料，可以实现强电流通电。（强电流规格：空冷110Arms、130Arms、150Arms、

160Arms)
    低扭矩
    H系列内部构造得到改良，小于18N.cm的低扭矩使得驱动马达的微型化得以实现。
    长寿命
    采用高强度不锈钢风箱，通过可变范围二分之一以下的风箱寿命100万回转，以及高强度特殊螺钉构造，

能够实现可变范围二分之一的总回转达到1500万以上的超长寿命。
 

真空固定电容器
 

真空固定电容器的诱导体为真空，使用损耗较低的陶瓷作为绝缘体，极大的抑制了损耗系数。从而使电容器即

实现了微型化，又能耐高压和承受强大电流。

特点

  耐高压
  由于绝缘体是真空，绝缘体能承受很高的电压，即使在高电压回路中也安然无恙。
  低损耗
  真空诱电体能极大降低损耗。诱电体的损害只出现在构成真空容器的电容器两端的绝缘陶瓷以及导航用陶瓷

。
  微型化
  通过采用耐高压的特殊电极实现微型化。

 

型号列举

VMMHCW-400-55, ITT VMMHCW-400-55S, C/VMMCH-450-55S, C/VMMHC-250-55S, CACA-250-0003, CACA-250-0005, CHV1-200-0007, CMV2-500, CMV2-500-5, CMV2-500-5S, CSV1-300-0103, CSV1-300-0105, CSV1-500, CSV1-500-0003, CSV1-500-0005, CSV1-500-3, CSV1-500-3S, CSV1-500-5, CSV1-500-5S, CSVF-500, CSVF-500, CSVF-500-0003, CSVF-500-0007, CSVF-500-0010, CSVF-500-0015, CSVF-500-0315, CSVF-500-10, CSVF-500-10S, CSVF-500-15, CSVF-500-15S, CSVF-500-7.5, CSVF-500-7.5S, CSVFN-500, CSVFN-500-10, CSVFN-500-10S, CSVFN-500-15, CSVFN-500-15S, CSVFN-500-7.5, CSVFN-500-7.5S,CSVS-500-0003, CSVS-500-0005, CVCD-250, CVCD-250-3, CVCD-250-3S, CVCD-250-5, CVCD-250-5S, CVCD-500, CVCD-500-3, CVCD-500-3S, CVCD-500-5, CVCD-500-5S, CVCE-250-6N833, CVDB-320, CVDD-200-7.5S, CVDD-250, CVDD-300, CVDD-300-10, CVDD-300-10S, CVDD-300-15, CVDD-300-15S, CVDD-300-7.5, CVDD-300-7.5S, CVDD-400-10, CVDD-400-10S, CVDD-400-15, CVDD-400-15S, CVDD-400-7.5, CVDD-400-7.5S, CVDD-500, CVDD-500-10, CVDD-500-10S, CVDD-500-15, CVDD-500-15S, CVDD-500-7.5, CVDD-500-7.5S, CVDE-200, CVDE-250-10S, CVDE-250-15N614, CVDE-250-15S, CVDE-250-7.5S, CVDE-275-15N614, CVEP-500, CVEP-500-10, CVEP-500-10S, CVEP-500-15, CVEP-500-15S, CVEP-500-20, CVEP-500-20S, CVFP-250, CVFP-250-30, CVFP-250-30S, CVFP-250-35, CVFP-250-35S, CVFP-250-40, CVFP-250-40S, CVFP-450, CVFP-450-30, CVFP-450-30S, CVFP-450-35, CVFP-450-35S, CVFP-450-40, CVFP-450-40S, CVHP-250-40, CVHP-250-40S, CVHP-250-45, CVHP-250-45S, CVHP-250-50, CVHP-250-50S, CVHP-250-55, CVHP-250-55S, CVHP-450-45, CVHP-450-45S, CVHP-450-50, CVHP-450-50S, CVHP-450-55, CVHP-450-55S, CWV2-250, CWV2-250-40, CWV2-250-40S, CWV2-250-45, CWV2-250-45S, CWV2-250-50, CWV2-250-50S, CWV2-450, CWV2-450-40, CWV2-450-40S, CWV2-450-45, CWV2-450-45S, CWV2-450-50, CWV2-450-50S, CWV3-450-0040, CWV3-450-0045, CWV3-450-0050, PV-4-500-15D3108, U-250, U-250-10, U-250-10S, U-250-15, U-250-15S, U-250-20, U-250-20S, UC-250, UC-250-10, UC-250-10S, UC-250-15, UC-250-15S, UC-250-20, UC-250-20S, UCS-300 motor, UCS-300, UCS-300-10, UCS-300-10S, UCS-300-15, UCS-300-15S, UCS-300-7.5, UCS-300-7.5S, UCS-375, UCS-375-10S, UCS-375-14S, UCS-375-15S, UCS-375-7.5S, UCS-400, UCS-400-10, UCS-400-10S, UCS-400-15, UCS-400-15S, UCS-400-7.5, UCS-400-7.5S, UCS-500, UCS-500-10, UCS-500-10S, UCS-500-15, UCS-500-15S, UCS-500-7.5, UCS-500-7.5S, UCSF-250, UCSF-250-10, UCSF-250-10S, UCSF-250-15, UCSF-250-15S, UCSF-250-7.5, UCSF-250-7.5S, UCSF-500 0107, UCSF-500, UCSF-500-10, UCSF-500-10S, UCSF-500-15, UCSF-500-15S, UCSF-500-7.5, UCSF-500-7.5S, UCSFN-250, UCSFN-250-10, UCSFN-250-10S, UCSFN-250-15, UCSFN-250-15S, UCSFN-250-7.5, UCSFN-250-7.5S, UCSL-250, UCSL-250-3, UCSL-250-3S, UCSL-250-5, UCSL-250-5S, UCSL-500, UCSL-500-3, UCSL-500-3S, UCSL-500-5, UCSL-500-5S, UCSLN-250, UCSLN-250-3, UCSLN-250-3S, UCSLN-250-5, UCSLN-250-5S, UCSLN-500, UCSLN-500-3, UCSLN-500-3S, UCSLN-500-5, UCSLN-500-5S, UCSV-250, UCSV-250-10, UCSV-250-10S, UCSV-250-15, UCSV-250-15S, UCSV-250-7.5, UCSV-250-7.5S, UCSXHF-450, UCSXHF-450-35, UCSXHF-450-35S, UCSXHF-450-40, UCSXHF-450-40S, USL-500, USL-500-3, USL-500-3S, USL-500-5, USL-500-5N606, USL-500-5S, USLS-465, USLS-465-10S, USLS-465-15S, USLS-465-3, USLS-465-3S, USLS-465-5, USLS-465-5D1542, USLS-465-5D579, USLS-465-5N825, USLS-465-5S, USLS-465-5S, USLS-465-7.5S, UX-500, UX-500-10, UX-500-10S, UX-500-15, UX-500-15S, UX-500-20, UX-500-20S, UX-500-7.5, UX-500-7.5S, UXC-500, UXC-500-10, UXC-500-10S, UXC-500-15, UXC-500-15S, UXC-500-20, UXC-500-20S, UXC-500-7.5, UXC-500-7.5S, UXCF-250, UXCF-250-10, UXCF-250-10S, UXCF-250-15, UXCF-250-15S, UXCF-250-20, UXCF-250-20S, UXCF-250-7.5, UXCF-250-7.5S, UXCF-500, UXCF-500-10, UXCF-500-10S, UXCF-500-15, UXCF-500-15S, UXCF-500-20, UXCF-500-20S, UXCF-500-7.5, UXCF-500-7.5S, VMMHC-250 (45Kv), VMMHC-250, VMMHC-250-35, VMMHC-250-35S, VMMHC-250-45, VMMHC-250-45S, VMMHC-250-55, VMMHC-250-55S, VMMHC-450, VMMHC-450-35, VMMHC-450-35S, VMMHC-450-45, VMMHC-450-45S, VMMHC-450-55, VMMHC-450-55S, VMMHCW-250, VMMHCW-250-35, VMMHCW-250-35S, VMMHCW-250-45, VMMHCW-250-45S, VMMHCW-250-55, VMMHCW-250-55S, VMMHCW-400, VMMHCW-400-35, VMMHCW-400-35S, VMMHCW-400-45, VMMHCW-400-45S, VMMHCW-400-55, VMMHCW-400-55S