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质量流量计常用于需要精确测量气体流量的系统。艾里卡特M系列数字式/模拟式质量流 量计是一款精密、可重复、可定制化、被设计用于各种不同应用的质量流量计，采用层流压差技术保证了速度极快的线性测量，默认的标准功能包括：200：1量程可调比，可精确测量满量程两百分之一的流量；内置30种气体可选，为客户减少由于气体种类多样性而造成的不必要的库存；多功能的按钮操作数字显示屏，为用户提供了无需任何专用通讯系统或软件的操作界面。
产品优势
Alicat的M系列数字式/模拟式质量流量计满足并超越用户对于质量流量计的需求:
操作简单
Alicat 质量流量计(M系列)作为一台独立设备，带有多功能数字显示屏，用户可通过面板按钮调节参数，无需连接但脑或其他任何复杂的编程软件。
测量精确
标准型Alicat 质量流量计(M系列)的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精选配项则可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性价比
Alicat 质量流量计(M系列)本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比与同类产品，其压损亦相对较小，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量仪器中。除质量流量外，M系列质量流量计还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费有效的方法。
性能卓越
M系列质量流量计可测量从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，配有多种模拟信号输出及RS-232数字信号输出。该系列质量流量计亦有便携式型号(MB系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款二等标准流量校准设备。
反应灵敏
10毫秒典型反应时间。
体积娇小
M系列质量流量计娇小的本体使其极易被安装于系统中或作为一款单独的校准设备随身携带。
高重复性
Alicat 的专利技术使得质量流量计几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的一致性和重复性。M系列质量流量计的重复性可达±0.2% F.S。
值得信赖
全球现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。
产品性能
标准性能
• 多功能数字显示屏
• 显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
• 低压损
• 无需预热
• Viton密封
• 8针mini-DIN电信号接口
• 标准圆形电源接口
• RS-232多点式数字输出
• 0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多种模拟信号输出可选
• 内置30种气体可选
• 200:1量程可调比
• NPT接头
• 可测量从0.5SCCM到4000SLPM的满量程的任何流量
• 有条件的终身质保
可选性能
• 高精度
• 累加器
• 6针、DB9或DB15电信号接口
• ProfiBUS数字信号输出
• RS-485数字信号输出
• 4-20mA模拟信号输出
• 第二种模拟信号输出
• TFT背光彩色显示屏
• 远程显示屏
• 远程TFT背光彩色显示屏
• 丙烯酸绝缘涂层
• EPDM密封
• NeSSI本体
• 氧气清洁
• 用于高温环境的远程电子包装
• SAE接头
• VCR, VCO接头
• 5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
• 双向流动
• 额外标定点
• 定制混个气体（最多4种）
• 定制流量范围