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设计特点 
热式原理 
一体化设计 
满量程从 5SCCM 到 1000SLPM 
响应时间不超过 2 秒钟 
操作压力可达 20.7MPa 
对安装位置不敏感 
316SS 材质，允许测量腐蚀性气体 
无直管段安装要求 
单电源供电 
技术参数 
流量范围 ：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具体请参考表一 
响应时间 ： 1 ～ 2 秒 
精 度 ： ± 1% 满量程（除 204A 型） 
---------± 1± 1.5%.满量程（ 204A 型） 
重 复 性 ： ± 0.2% 满量程 
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 满量程） 
环境和操作温度 ： -10 ～ 70 ℃ 
最大操作压力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具体请参考资料

零点漂移： ± 0.05 % 满量程 / ℃ 
范围漂移 ： ± 0.05 % 读数 / ℃ 
压力漂移 ： 0.1%/atm （相对于 N 2 ） 
安装方向 ： 对位置不敏感 
预热时间 ： 10 分钟 
电气连接 ： 卡式 （ 20 针）或 D 型（ 9 针） 
设定点输入流量信号输出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA

供应电源 ： 
电压输出：＋ 12( ± 5 ％ ) （仅适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或 +15( ± 10 ％ )VDC 
电流输出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或 +24( ± 15 ％ )VDC 
电流消耗：＜ 250mAdc 
重 量 ：请参考表一

结构材质

主体： 316SS 
传感器组件 ： 316LSS 
孔： 316SS 
阀构成部件 （接液）： 
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型） 
密封材质（” O ”型环和阀座）： 
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型） 
过程连接： 316SS

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