深圳市和兴盛光电有限公司
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REAL非接触表面轮廓测量仪 HM3-50是一款专门针对需要非接触获取表面高度或轮廓曲线的仪器, 采用创新的光谱共聚焦原理, 通过探头扫描的方式获取轮廓，并通过配套设计的软件进行截面分析和测量，记录测量数据，并带有控制图表和CPK等SPC统计功能，并能导出测量数据为Excel兼容格式。
光谱共聚焦原理：是一束多波长混合光束，聚焦到一个点上，由于各种波长光线折射率不同，聚焦的位置也不同。聚焦在物体反射表面上的波长的光线，经过聚焦后通过一个微孔到达光谱分析仪器，其它波长的光线由于没有聚焦在物体表面，反射的光线只有极少能通过微孔，因此测量光线主波长就可以对应地得到该物体表面的高度。
该测量方法的优点是，对物体表面光学特征不敏感，可以测量各种颜色，各种反射度，各种透射率，包括透明材料和镜面反射材料。而且由于光线从四面八方照射到样品，对表面突变的边缘不易产生影响测量的阴影效应。由于光谱分析仪器的分辨率可以达到纳米级别，且对外界干扰光不敏感，所以测量精度高且稳定性好。
扫描臂和测量平台可分体的模块化设计，使得要测量很大的样品只需把扫描臂固定到更大的平台上，具有更好的灵活性和可扩展性。

扫描臂主体框架采用稳定精密的单块花岗石架构，提高稳定性，减少机架采用不同材料产生的热膨胀变形。设计时充分考虑到发热部件的安装位置和散热，减少发热部件对架构的热变形影响。
扫描轴使用光栅尺闭环位置反馈控制，没有丝杆驱动产生的发热膨胀以及磨损和间隙，运动精度稳定可靠。
亚微米级别的测量对震动非常敏感。测量平台可以配套安装气浮隔振器，利用带阻尼机构的空气悬挂吸收和隔离大部分外界震动，可以减少样品移位和读数跳动，提高精度。平台自带水平仪，方便用户随时监控平台是否放置水平，提高测量可靠性。
采用测量探头运动样品不运动的设计，可以避免样品产生震动和摇晃，并避免了样品运动和空气碰撞产生的气流影响，可以大幅度提高测量精度，对于未固化的浆料、胶水、油墨湿膜以及薄或柔软的、底部不平整度大于测量分辨率的基材来说，这一特点非常重要。


应用范围：漫反射/透明/镜面，固态液态均可（胶水、银浆、油墨等）
可测湿膜厚度：2~350μm
可测最小宽度：10μm
高度测量分辨率： 0.022μm（=22nm=0.000022mm）
重复精度： <0.1um于标准量块上）
XY平台大小：500X760mm（最大可定制）
Z轴可调整范围： 35mm 
允许被测物高度：80mm
最大扫描距离： 50mm
最大扫描速度：27mm/s
扫描轴最小步距：1μm
扫描轴直线度：0.1μm（0.000375%FS，校准后）
最高采样频率： 900样品/S （测量头静态可达2000样品/S)
运动系统：磁悬浮，超精密导轨
控制系统：光栅全闭环控制
基准平面修正：两点参照修正倾斜
数据传输：USB数字、光纤传输
测量模式：手动定位和调焦，自动扫描
测量速度：每次测量约5~10秒（短距离扫描，不包括被测物摆放时间）
测量结果：长、宽、平均厚度、最高厚度、目标边线厚度等，主要数据可导出至Excel
SPC统计功能：平均值、最大值、最小值、极差、标准差、CP/K/CPK等。Xbar-R均值极差控制图（带超标警告区），直方图、规格参数可自主设置。
测量局限性：光照射不到或无法反射足够光线到探头的地方无法测量。
本身发光或荧光物质需确认。（凹球面反射镜和透镜等光学部件或类似的表面 需要确认光路合理性）
必须配置：测量探头；探头控制器；扫描臂；扫描臂控制器；
测量软件 
可选配置：测量平台；阻尼隔振器；平面误差小于0.1um标准表面；
电脑和操作系统 
平台尺寸：600x800（更大可定制）
使用环境要求：远离震动和强光，无尘，恒温建议放在基础层楼层稳固的桌子（20摄氏度 正负1度，至少10万级洁净度，照度低于100LUX，湿度<60%RH且较稳定）
压缩空气/氮气/纯净水：无需 
电源电压： 220V正负10%，交流50Hz