一、用途：

油扩散泵是用来获得10^-2～10^-4Pa高真空的主要真空获得设备，它与真空阀门、水冷挡板、管道、前级泵等真空元件一起组成高真空抽气系统，如果用液氮等冷却装置，并加烘烤等措施，可获得超高真空。

二、工作原理简介：

油扩散泵工作原理是用室温下饱和蒸汽压很低的扩散泵油或硅油经油锅加热蒸发成油蒸汽，经导流管、喷嘴形成高速蒸汽射流作为工作介质，靠扩散和携带完成抽气过程的一种高真空获得设备。

在油扩散泵前级配置一个抽气量相当的机械泵，使扩散泵内达到1Pa的真空状态，通电加热，使泵工作介质蒸发并沿导流管定向流动经喷嘴高速喷出，被抽气体靠扩散和携带作用被蒸汽射流带到泵壁，油蒸汽冷凝后返回油锅，气体被逐级压缩，最后被喷射级蒸汽射流携带到前级，被前级泵抽走。

三、特性：

1.抽气速率高，对惰性气体如氦、氖、氩及氢气也有较大的抽气能力。

    2.结构简单，无机械传动部分，寿命长，容易操作和维护保养。

    3.极限真空度高，用扩散泵油作为工作介质可高于6.6×10^-5Pa。采用硅油作为工作介质可达到更高真空度。

四、特点：

1.本公司生产的KT凸腔系列油扩散泵和KTD凸腔低返油率系列油扩散泵，是国内唯一采用内加热和外加热形式的生产厂家，由于采用了内加热形式，提高了热效率30％以上，泵启动快（小泵20min，大泵50min），大大提高了生产效率，而且降低了加热功率，节能降耗效果明显，功率降低20％左右，经济效益明显。（特别订货配置）

2.本公司使用的内加热器是自己开发研制生产的，质量优良可靠，由于加热器浸在油中又在真空状态下不易氧化因而使用寿命长。加热器采用金属密封，安全可靠、更换方便。（特别特别订货配置）

根据用户习惯，本公司仍保留外加热形式，但对加热器进行了必要的改进，使之更加可靠。

3.为了保证泵的安全运转，本公司生产的油扩散泵还设计有非常可靠的观察窗，以方便用户直观检查泵油是否氧化和油损耗情况，以便及时添加或更换泵油，从而防止了干烧事故。

4.本公司在泵底油锅内设有不锈钢快速水冷管，小泵停泵20min，大泵停泵30min即可通水急冷，30min后就可停前级泵，与国内同类产品相比，不仅启动快，停泵也快。（特别订货配置）

5.根据本公司多年研究发现，油扩散泵常常不能正常工作的原因，除油品性能不稳定外，就是泵加热设定后不能适应季节变化以及泵使用一段时间后油损耗的变化。常使泵无法正常工作，造成用户无所适从。因此本公司生产的各类油扩散泵均设有温度显示和温度测试传感元件，用户可根据自己的情况对加热功率进行控制，选择最佳的工作温度，使之常年保持稳定的比值从而保证了油扩散泵的正常工作。

6.传统的油扩散泵放油口径过小，密封不可靠，给用户带来极大的不便。本公司采用大管径、金属密封，密封可靠，放油快，大大方便了用户的使用。

7.我国传统的油扩散泵无加油口，给用户的使用及维护带来很大不便，本公司生产的油扩散泵设置有加油口，使用十分方便。

五、注意事项：

1.油扩散泵安装时应垂直放置，使泵内泵芯部件处于正常工作状态。各橡胶密封处应密封可靠。

2.油扩散泵加热前必须保证冷却水畅通，泵内处于1Pa真空状态下方可加热。加热前先将急冷装置上水源彻底切断。

3.油扩散泵停止工作时，泵内应避免放入大气，以延长泵油寿命并减少泵油的吸气量。特别应防止泵刚停止工作尚未冷却就放入大气，以免泵油氧化。

4.油扩散泵长期存放，最好抽成低真空，以防泵油污染和各零件腐蚀，并应吹净冷却水套内的剩水。

5.被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的室温状态下的气体。

6.泵正常工作时性能突然变坏，应检查电热管或加热器是否断路。

7.在泵长期工作后，泵性能逐渐变坏，检查油量是否减少或氧化，以便增添油量或清洗后烘干换新油。

8.一次装拆后，如性能上不去，可检查是否密封可靠或装配不当。

9.操作过程中，应注意扩散泵的前级机械泵的工作是否正常，一般机械泵的极限压力应比扩散泵的最大反压力低一个数量级，当机械泵性能变坏后也将直接影响油扩散泵的正常工作。

 

K系列高真空油扩散泵性能指标技术参数：

型号 参数			K-500	K-800	K-900
极限压力 Pa			6.7×10- 5
抽气速率 L/S		单泵	12000	22000	32000
		挡板	10000	19000	28000
临界前级压力 Pa			40	40	35
反油率 mg/(cm2.min)	单泵		4×10- 3	3×10- 3	2×10- 3
	挡板		8×10- 5	6×10- 5	4×10- 5[a1]
加热功率 kw			12	15	24
电源电压 v			380（三相）
泵油牌号			KS-3（KS-2）
泵油用量 L			6	10	12
冷却水用量 L/h			860	1180	1330
推荐前级泵抽速L			140	300	300
重  量 Kg			300	700	910

 K系列高真空油扩散泵连接尺寸（见附图2）：

 

规格 尺寸	K-500	K-800	K-900
D	φ500	φ800	φ900
d	φ130	φ160	φ200
D1	φ635	φ890	φ980
d1	φ190	φ200	φ240
n1-φ	20-φ18	24-φ14	28-φ22
n2-φ	8-φ10	8-φ12	8-φ18
H	1220	1666	1830
L	584	1000	810
A	635	700	1075