一、   工作原理：

ZK系列高真空增压扩散泵与扩散泵工作原理基本相同。但由于该泵泵体上采用了增压结构，泵芯上采取了特殊措施，加热器采用了内加热方式，故而增压扩散泵抽速范围向高压强延伸了半个数量级，在6x10^-2~1x10^-1Pa范围内仍有满抽速，在1x10^-1Pa时抽速可达名义抽速的80%，填补了扩散泵与扩散喷射泵衔接所造成得凹谷。所以该泵特别适用于起始工作瞬间放气量特别大或者工艺过程中突发大量放气的真空应用设备，如真空镀膜机和要求较高真空条件的各种真空炉。实践证明该泵有扩散泵和扩散喷射泵无法替代的独到优势，完全可以取代扩散泵成为换代产品。

二、   主要用途：

ZK系列高真空增压扩散泵是用来获得10^-1~10^-4帕高真空的理想获得设备，它和阀门，水冷挡板管道，机械泵一起组成高效率的真空抽气系统。如果在机械泵前加机械增压泵就会形成更强大的高真空高效率真空抽气系统。可以广泛用于电子工业、机械工业、冶金工业、轻工业、原子能工业和航空航天等部门。

三、   性能特点：

ZK系列高真空增压扩散泵除具有扩散泵的所有特点外，还有以下特点。

1、结构设计上采用了多项改进措施，故而在扩散泵和扩散喷射泵不能工作的6 x10^-2~1x10^-1帕范围内仍保持满抽速，在1x10^-1帕时还有名义抽速的80%。

2、加热形式采用了特殊设计的内加热方式，加热器是完全浸在油中工作，因此具有更换方便、不易短路、安全可靠、不怕灰尘、热损耗小、热效率高、泵启动快、油锅压强高、加热器使用寿命长等特点，为泵抽速范围向高压强方向延伸提供了可靠保证。

3、该泵在泵底内设有急冷装置，在泵停止加热30分钟后，通水急冷可以有效缩短停泵时间，节能降耗效果显着。（客户选装）

4、该泵有改进设计的油标测量装置，可靠不漏气不易破碎。方便用户定期检查油的损耗情况以便及时补充。

5、该泵设有加油口，使用方便。

四、   高真空增压扩散泵的维护与保养。

1、增压扩散泵在安装完毕后，应先用500V摇表检查加热器的绝缘，以防运输震动造成短路，在确认绝缘可靠情况下方可通电加热。

2、增压扩散泵安装应垂直放置，使泵内泵芯，部件处于正常工作状态，密封圈密封要可靠，与前级泵的连接必须有弹性元件，以防泵体震动，影响泵的正常工作。

3、泵的停止冷却应彻底，严格避免泵在未凉透前放入大气，造成泵油的污染和氧化，急冷装置必须在泵停止加热30分钟后方可通水使用。

4、增压扩散泵加热前，前级必须保证提供1帕以下预真空，必须保证冷却水的通畅。

5、增压扩散泵抽出的气体应是干燥，无腐蚀的室温气体。

6、泵正常工作时性能突然变坏，应检查加热器是否短路、断水、泵油是否损耗或氧化，密封是否失效，使用的泵油是否合格。

7、泵长期不用，要抽低真空储存，用压缩空气吹净冷却水管内的剩余水以防腐蚀水冷系统。

8、凡属于制造不良使用中不能正常工作时，本公司负责免费修理，保修期一年（易损件加热器、扩散泵油不属保修范围）。

9、由于受结构设计的限制,ZK系列中ZK-300T以下加热器均220V单相送电，用户在使用中要注意电网电压的平衡。

五、   ZK系列高真空增压扩散泵主要安装尺寸，附图见表1

图示符号相应尺寸列表

表1

六、   ZK系列高真空增压扩散泵主要性能参数见表2。

高真空增压扩散泵主要性能参数              

表2

型号     项目	ZK-200T	ZK-300T	ZK-400T	ZK-500T	ZK-600T	ZK-800T
极限压力 Pa	2x10-4
抽气速率L/S 5x10-3~1x10-1Pa	2000	4000	6000	10000	14000	20000
抽气速率L/S 1x10-1Pa	1600	3200	4800	8000	11000	16000
临界前级压力Pa 1x10-1Pa	40
加热功率 (KW)	1.8	3	6	6	9~12	18
电源电压 (V)	220	220	380	380	380	380
泵油牌号	KS-3
泵油用量	1.2	3	5	8	会员信息 甘肃腾飞真空泵制造有限公司 国家/地区︰ 甘肃省兰州市 经营性质︰ 生产商 联系电话︰ 13909491200 联系人︰ 王龙 (总经理) 最后上线︰ 2013/03/06 International | 中国站 (简体) | 中國站 (繁體) > 电脑版 Copyright 1999-2023 DIYTrade.com. All rights reserved.