NVAC DM 抗粉末真空泵浦油

NEOVAC DR-M是高度精制基础油，经过高真空分子蒸馏与排列改组，通过添加特殊添加剂延迟油的使用寿命的旋转式真空泵油。

于半导体制造CVD工艺过程中， DR-M具有优异抑制真空油变浓稠的效果和优异的润滑性。

DR-M真空油特性：

1优异的耐气体性和出色的热稳定性和氧化稳定性。
2通过添加特殊添加剂，可延长油的使用寿命。
3可减少换油次数，提高工作效率。
4因为它是分馏基础油，所以它具有低蒸气压并表现出优异的真空特性。

DR-M用途：

半导体化学气相沉积(CVD)镀膜制程

有粉末、粉尘的真空环境
适用泵（主要是直结型泵浦和其他各式旋转泵浦）

DR-M可取代ULVAC ULVOIL Super-R-7500

<h2 class="product-title mt-0" font-weight:500;line-height:1.1;margin-bottom:10px;font-size:26px;letter-spacing:0.3px;background-color:#ffffff;margin-top:0px="" !important;"="" style="box-sizing: border-box; font-family: &quot;Pt Sans&quot;, sans-serif; font-weight: 500; line-height: 1.1; color: rgb(64, 64, 64); margin-bottom: 10px; font-size: 26px; letter-spacing: 0.3px; background-color: rgb(255, 255, 255); margin-top: 0px !important;">DR-M可取代LION S-40DX； LION S-70DX