光学真空镀膜机

产品描述

腔体尺寸	ф1120×H1300（mm）
工件盘	ф1020
极限真空	4.0×10-4Pa
恢复真空	从大气抽至4×10-5Pa≤12min
烘烤温度	烘烤高温350度
其他参数	水压0.2~0.4MPa，气压0.4~0.6 MPa，进水温度：≤25℃
基本配置	1、箱体立式前开门，采用全304不锈钢制造。抽气系统：机械泵+罗茨泵+分子泵或扩散泵（冷水阱） 2、电气：触摸屏操作，PLC控制，手动/自动(带故障报警功能，对异常情况进行报警并执行相应的保护措施） 3、全自动熔料功能（该功能系公司自主研发的、目前国内唯一全自动熔料功能）一键全自动熔料，16位坩埚记忆功能，实现坩埚自动转位。
真空镀膜设备的具体配置可根据客户的镀膜工艺要求进行量身设计及制作。