型号: | TA1 TA2 |
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品牌: | 胜邦钛业 |
原产地: | 中国 |
类别: | 冶金矿产、能源 / 冶金矿产 / 有色金属 |
标签︰ | 钛靶材 , 钛锻件 , 溅射靶材 |
单价: |
¥128
/ 件
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最少订量: | 5 件 |
钛 靶 材
靶材的主要性能要求:
1.纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。
2.杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
3.密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
4.晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
付款方式︰ | 预付30%-50%,发货前付清。 |
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包装︰ | 木箱包装 |
宝鸡胜邦钛业有限公司 | |
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国家/地区︰ | 陕西省宝鸡市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13186378673 |
联系人︰ | 刘晓冬 (销售经理) |
最后上线︰ | 2023/09/22 |