大型LNG杜瓦罐抽真空系统，将24~48只低温绝热钢瓶放置在烘箱内进行烘烤加热抽真空，所有钢瓶的真空口用高真空推拉阀和波纹管连接，机组采用双极旋片泵预抽，罗茨泵加速，用扩散泵或者分子泵精抽，整个抽真空工艺5-7天完成，真空泵的测量规管和机组由业主自由选配，最终主管路极限真空度优于：7×10-5Pa。

一、双级旋片式真空泵

每秒抽气速率30升（70升）

极限真空为6×10-2Pa

30升的功率为3KW（70升功率5.5KW）

二、电磁真空带充气阀

三、罗茨真空泵

极限真空为5×10-2Pa

速率每秒150升的功率为3KW

速率每秒300升的功率为5.5KW。

四、扩散真空泵

扩散泵的极限真空是7×10-5Pa

口径150mm的功率是1.5KW。

五、电阻规

电阻规为测量低真空的测量探头

六、电离规

电离规为测量高真空的测量探头

七、杜瓦罐烘箱

自动温控0~400度可调

复合数显真空仪表

烘箱功率6KW