专业制造KSL1300高温扩散炉

专业制造KSL1300高温扩散炉
型号:KSL1300
品牌:青岛微弘
原产地:中国
类别:工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰扩散炉 , 真空扩散炉 , 氧化扩散炉
单价: ¥138000 / 台
最少订量:1 台

产品描述

扩散炉

 

扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。

■扩散炉控制系统特点

可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步

工艺曲线的自动运行控制功能  

自动运行中可暂停/继续运行功能

 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能 

 扩散炉可存储多组PID参数供系统运行调用功能   

PID参数自整定功能

具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面

系统故障自诊功能

工艺气体的程序控制功能

停电后断点继续运行功能等     

 扩散炉关键件全部具有高可靠性  

具有历史记录功能

具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能

具有多点温度补偿

可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能  

 

扩散炉主要技术指标

可配工艺管外径:        2~8英寸     

 扩散炉可配工艺管数量:     1~4/

恒温区长度及精度:    3001250mm   800~1300℃±0.5   

扩散炉工作温度范围:         4001300

单点温度稳定性:        8001300   ±0.5/24h  

最大可控升温速度:  15/min

最大降温速度:               5/min     

可为用户量身定制非标准扩散炉

付款方式︰议定
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会员信息

青岛微弘设备技术有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰13608962730
联系人︰刘先生 (市场经理)
最后上线︰2018/05/17