型号: | KSL1300 |
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品牌: | 青岛微弘 |
原产地: | 中国 |
类别: | 工业设备 / 电子电气产品制造设备 |
标签︰ | 扩散炉 , 真空扩散炉 , 氧化扩散炉 |
单价: |
¥138000
/ 台
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最少订量: | 1 台 |
扩散炉
扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸。
■扩散炉控制系统特点
◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步
◆ 工艺曲线的自动运行控制功能
◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
◆ 扩散炉可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆ PID参数自整定功能
◆ 具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面
◆ 系统故障自诊功能
◆ 工艺气体的程序控制功能
◆ 停电后断点继续运行功能等
◆ 扩散炉关键件全部具有高可靠性
◆ 具有历史记录功能
◆ 具有多种故障报警及各种安全互锁保护功能
◆ 具有多点温度补偿
★ 可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能
■ 扩散炉主要技术指标
◆ 可配工艺管外径: 2~8英寸
◆ 扩散炉可配工艺管数量: 1~4管/台
◆ 恒温区长度及精度: 300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
◆ 扩散炉工作温度范围: 400~1300℃
◆ 单点温度稳定性: 800~1300℃ ±0.5℃/24h
◆ 最大可控升温速度: 15℃/min
◆ 最大降温速度: 5℃/min
★ 可为用户量身定制非标准扩散炉
付款方式︰ | 议定 |
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青岛微弘设备技术有限公司 | |
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国家/地区︰ | 山东省青岛市 |
经营性质︰ | 生产商 |
联系电话︰ | 13608962730 |
联系人︰ | 刘先生 (市场经理) |
最后上线︰ | 2018/05/17 |