晶圆高真空退火炉

晶圆高真空退火炉
型号：CL
品牌：晨立
原产地：中国
类别：工业设备 / 电子电气产品制造设备
标签︰扩散炉 , 氧化炉 , 退火炉
单价： ¥250000 / 台
最少订量：1 台
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产品描述

晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。

尺寸：4-8英寸晶圆

晶圆舟：标准25片

控温精度：±3℃

升温速率：10℃/min

洁净等级：百级洁净

真空度：5*10-4 Pa

使用温度：200-550度

晶圆高真空退火炉 1

会员信息

青岛晨立电子有限公司
国家/地区︰山东省青岛市
经营性质︰生产商
联系电话︰13869885308
联系人︰姜经理 (市场部)
最后上线︰2024/06/12
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