EDWARDS爱德华XDS系列真空泵
nXDS系列
nXDS6i、NXDS10i、nXDS15i、nXDS20i、nXDS35i

XDS系列
XDS5、XDS10、XDS46i、XDS100B、XDS35i


应用

分析仪器

电子扫描显微镜 - SEM

射束线和高能物理

涡轮分子前级泵

超高速离心机

覆层

低温学

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

凝胶体干燥

实验室工作台上真空

激光、气体回收和再循环

氦检漏仪

负载锁和传输腔

稀有气体再循环

稀有气体回收

冷冻制造

研发

旋转离心蒸发器

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

功能和优势

· 轴承屏蔽

完全清洁和干燥的真空

真空空间中没有轴承或油脂

无轴封，无轴承清洗

简单的单侧滚轴设计

更换顶封口仅需 20 分钟

无需特殊工具

· 气囊位置可选

无永久气囊泄漏

水蒸汽处理量大

· 所有泵产品均经外部机构检验，符合 EN61010、CSA C22.2

1010、UL 61010 标准

可以轻松地将泵整合到已认可的系统中，产品安全可靠

· 按照

ISO 9001 标准制造

高质量产品

· 按照 ISO 14001 标准制造

制程环保

技术数据


排量




50Hz

11.3 m3h-1 / 6.7 ft3min-1


60Hz

13.4 m3h-1 / 7.9 ft3min-1


峰值抽速1




50Hz

9.3 m3h-1 / 5.5 ft3min-1


60 Hz

11.1 m3h-1 / 6.5 ft3min-1


极限真空（总压力）




50Hz

7 x 10-2 mbar/5.3 x 10-2 Torr


60 Hz

6 x 10-2 mbar / 4.5 x 10-2 Torr


水蒸汽的最大进气口压力

35 mbar/23 Torr


最大水蒸汽抽速 – GB I

70 gh-1


最大水蒸汽抽速 – GB II

200 gh-1


允许的最大出口压力

1 bar 表压/14 psig


允许的最大进气口和气镇压力

0.5 bar 表压/7 psig


电机功率（1 相和 3 相）

0.3kW


电源连接器（1 相）

IEC EN60320 C13


标称旋转速度 50/60 Hz

1500/1800 rpm


重量

24.5 kg/54 lb


入口法兰

NW25


排气口法兰

NW25


噪音级别

50 Hz 时 55 dBA


振动

<4.5 mms-1 (rms)


密封性（静态）

<1 x 10-6 mbar ls-1


工作温度范围

10 至 40 °C/50 至 104 °F