净化原理是：原料气首先通过催化反应器，由高效催化氧化剂氧化脱除氢、一氧化碳、甲烷（烃类）等杂质，然后通过除氧器由脱氧剂脱氧，***终通过吸附器吸附微量水、二氧化碳，得到高品质的高纯气体。如气体纯度要求达到＞99.999％，则采用专门用于净化气体的活性金属合金吸收残余的氮气中杂质，得到超高纯气体。
　设备性能与指标
1、处理气量：1—3NM3／hr
2、原料气： 液氩99.99% O2<5ppm 露点<-45℃
H20<1ppm CO2 、CO<2ppm
3、净化后气体质量：
O2<1ppm H2<1PPm CO<1ppm CO2<1ppm
露点<-76℃ 尘埃<100 级
4、操作压力： 0．8Mpa
5、操作温度：
反应温度：280—320℃ 干燥温度：300—320℃
6、电能耗量：
3.0KW(反应器1.5 千瓦长期使用干燥器只有干燥再
生使用)
7、冷却水：水温15℃左右，水耗量0.2T／hr
8、外型尺寸：宽×深×高(mm) 750×650×1550