Travel 100mm,150mm,200mm,300mm,400mm,500mm,600mm
￭ 定位精度高达（直线误差修正后）：±1µm（Travel≤200mm）
￭ 稳定且优良的轴系提供了较好的平滑运动，经算法优化可以获得较小的动态跟随误差
￭ 线性表现较好的光栅反馈系统，可以获得较好的point-to-point位置精度以及亚微米级的重复性
￭ 标准的模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案
￭ 整体密封结构，轻量化、高刚性结构设计，低成本，高性能

 
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