• 概述：超高真空兼容的丝杆运动平台，在最小的高度、负荷高达几公斤的情况下提供长行程运动定位。采用“V”型滚轮导轨，金刚石修改正的丝杠和配件确保平滑的运动，精研螺母保证良好的稳定性，预紧力螺母消除间隙。

• 特点：LTVL/LTVH/LTXL/LTXH系列-真空高低温耐辐射步进电机运动平台（可定制）

• 行程： 50 to 250mm；（LTX系列25-85mm）

• 分别率：1um/步；

• 无回滞，刚性强；

• 承载能力：20kg；（LTX系列是50kg）

• 可直接堆叠 XYZ三轴平台

• 真空度：1 x 10-10 mBar；

• 温度范围： -65ºC 到 +175ºC

• 防辐射： 1 x 106 Gy ；

• 烘烤温度：200°C；

• “V”型滚轮导轨

• 金刚石修正丝杠和相配的螺母

• 规格	单位	LTVL	LTVH
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分别率	μm	5	1
  最大速度	mm/s	15	4
  推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
  重复定位精度	μm	1	0.2
  水平负载能力	kg	20	20
  负载力矩	Nm	<5	<5
  轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  间隙	μm	忽略不计	忽略不计
  转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	33	33
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	33	33
  直线度	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步进电机		D35.1	D35.1
  真空度	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  最大恩度	°C	200	200
  平均故障间隔时间	hrs	15,000	10,000

• 规格	单位	LTXL	LTXH
  行程	mm	25 / 55 / 85	25 / 55 / 85
  整步分别率	μm	5	1
  最大速度	mm/s	15	4
  推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
  重复定位精度	μm	1	0.2
  水平负载能力	kg	50	50
  负载力矩	Nm	<20	<20
  轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  间隙	μm	忽略不计	忽略不计
  转动, 俯仰 & 偏载 (无负载)	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	5	5
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	2	2
  直线度	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用电机		D35.1	D35.1
  真空度	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  最大温度	°C	200	200
  平均故障间隔时间	hrs	15,000	10,000

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