超声波高精度喷涂设备 - 节能光刻胶的超声波雾化喷涂制备

苏州索尼克超声波自主研制的超声波高精度喷涂设备JY-W50能够实现光刻胶的定向喷涂，节约原料可节约90%的光刻胶原料，从而避免了环境污染和后续处理的步骤。目前，是光刻胶喷涂最为先进的工艺。

针对光刻胶现下涂覆工艺旋转涂胶工艺的浪费和环境污染问题，苏州索尼克超声波在自行开发的120KHZ的超声波雾化喷涂设备的基础上，对光刻胶喷涂工艺进行改进。超声波雾化喷涂设备电源功耗（10W）低，产生的雾化液滴平均粒径小、均匀性好，液滴直接喷涂在晶圆表面上，光刻胶利用率高，因此被认为是一种绿色的光刻胶薄膜制备工艺。普通超声波雾化喷涂设备表面的雾化液滴初始速度小，易于受到周围空气的扰动，不利于获得高质量的光刻胶薄膜，难以实现理想的喷涂效果。为此，苏州索尼克超声波在超声波雾化喷涂设备中加入载气模块用于增加雾化液滴的动力，控制雾化喷涂方向和范围，实现光刻胶薄膜的定向喷涂于基底的晶圆表面。