半导体单晶圆片蒸发清洗线

品牌：《南轩电子》适用于微电子半导体各尺寸硅晶圆片的清洗腐蚀，整体设备用料为德国进口磁白色聚丙烯（PP），经雕刻后组合焊接加工而成，门板采用德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽采用德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽采用德国自然色聚丙烯板（NPP）；关健部件采用进口原器件。设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动，以迅速实现槽与槽之间的硅片转换。另外，此设备腐蚀槽还配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。适用于微电子半导体行业，也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格，具体规格依客户工艺确定。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：马胜南15010795119，010-52103382。

晶圆显影实验台 品牌：《南轩电子》可用于半导体工艺中对各种规格尺寸硅晶片进行显影和定影，整台设备均采用德国进口PP材料，经雕刻后组合焊接加工而成。双排槽构成，每排7槽（根据工艺确定），各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 工作区洁净度：100级。槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S，工艺过程为全自动，全程PLC控制，触摸屏操作。结构设计合理，外型美观。适用于微电子半导体行业，也适合于高校化学实验室作实验湿台、腐蚀台。非标规格，具体规格依客户工艺确定。有需求此方面设备的朋友，欢迎来电咨询：马胜南15010795119，022-22566365