型号 |
Flex-85 |
外形 |
3,000mm(宽) x2,500mm(长) x 2,500 mm (高 ) |
重量 |
7500KG左右 |
电力需求 |
380V,50Hz, 3Phase, approx. 50A Max |
修复能力 |
可修复样品尺寸 |
3~85寸 |
可修复范围 |
显示区内任何位置 |
修复时间 |
120S左右每个像素(尺寸200um*100um的pixel) |
适用产品类型 |
Cell段产品(OLED面板,IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板),模组段产品(已贴偏光片,带TP模组) |
遮光性 |
修补颜色在模组背光下不可见 |
平台功能 |
Gantry结构 |
龙门式 |
X-Y-Z 行程 |
2000*1200*50mm |
移动精度 |
0.1um |
X-Y运动速度 |
0~200mm/s |
Z 运动速度 |
0~2mm/s可调 |
定位 |
AOI坐标自动定位 |
光学特性 |
光路系统倍率 |
50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects |
物镜切换速度 |
0.2~0.7s |
聚焦 |
激光自动聚焦 |
光学分辨率 |
0.7um |
相机 |
200W/500W像素工业相机 |
激光特性 |
激光系统 |
激光切割系统(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object,532nm) |
能量调节精度 |
0-1000 steps |
0-100% |
激光波长 |
1064nm,532nm,355nm |
脉宽 |
500fs |
光斑尺度 |
0.8~1.5um @100X object |
1.0~3.0um @50X object |
激光寿命 |
>10年,维护间隔>6,000小时 |
扫描面能量均匀性 |
优于5% IR |
工作模式 |
Scan扫描式 |
扫描形状 |
可任意定义形状 |
工艺参数 |
软件可以添加任意组工艺参数 |
控制 |
工作模式 |
自动修复,实现数据的自动导入和输出,联机通讯 |
手动或者半自动修复 |
上下片 |
机械手或者流水线 |
CIM系统 |
有 |
减震 |
主动式减震系统,能够实现50X 物镜下画面不抖动 |
工业PC |
23寸显示器&电脑:i7 处理器,1TB硬盘2块(其中一块为备份硬盘),8G内存,1G独立显卡,DVD-ROM |
通讯接口 |
RS232/EtherCAT/GPIB等 |
安全 |
整机带屏蔽罩,操作人员在屏蔽罩外操作 |
紧急开关EMO |
限位sensor,运动平台和激光系统限位互锁 |
Interlock报警,自动关闭系统(软件设置为可选) |
应用 |
TFT-LCD Panel亮点的修复,OLED Panel亮点的修复 |