型号: | SPIN150i |
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品牌: | SPS |
原产地: | 德国 |
类别: | 电子、电力 / 仪器、仪表 / 实验仪器装置 |
标签︰ | 匀胶机 , 旋涂仪 , 镀膜机 |
单价: |
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最少订量: | - |
一、产品概述:
SPIN150i型匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。MYCRO的SPIN系列匀胶机具有稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性,这正是SPIN150i型匀胶机的特点。
二、匀胶机工作原理:
匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
三、匀胶机主要性能指标:
1、腔体直径:8英寸 (202 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-160mm直径的材料,4英寸方片;
3、转速范围: 1~12000RPM**,±1rpm steps;
4、最大加速度:30000RPM/S;
5、转速精度: ±0.1rpm;
6、程序段数:无限制;
7、操作步数:无限制;
8、旋转时间:无限制*,±0.1 Second steps;
9、旋转方向:顺时针,逆时针,交换摆动;
10、扩展接口:1个USB接口;
11、马达保护:20-50kPa,2-5l/min,Tube OD ? 6mm(可关闭);
12、排废连接:1” M-NPT;
13、触屏控制:全彩触摸屏控制界面;
上海科布信息技术有限公司 | |
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国家/地区︰ | 湖北省武汉市 |
经营性质︰ | 贸易商 |
联系电话︰ | 13681069478 |
联系人︰ | 钟生 (经理) |
最后上线︰ | 2019/04/16 |