高精度全自动影像量测系统 VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072
◎ 载物台行程： 150X150×150/300×200×150/650×550×150/1000×800×150/1200×7200× 150mm 可供选择。
◎ Z 轴高精度量测：使用雷射；重现性 0.5μm
◎ 点、线、弧、圆、椭圆、 pitch 量测及特殊形状量测模式
◎ 五阶段放大倍率 18X-270X或36X-540X或72X-1080X
◎ 2.5× 及 5× 辅助镜解析至 680×~1,375×

【光源】
（ a ） 底部表面光源
（ b ） TFI-30 ，斜角度之光源 37度 75度
（ c ） Laser TTL 高倍辅助镜光源
（ d ） TTL 透过透镜之光纤光源
另可提供彩色屏幕，看实际产品颜色及打印 scan laser 扫描物体轮廓，利用Best Fit求最小公差
程序 copy 功能：位移、角度及影像 copy 方式
可量测 XZ 、 YZ 平面上之弧、角度及轮廓
取点：当工件异位可自动搜索，侦测正确位置
软件提供联机作报告表格及统计分析