真空等离子清洗设备

型号：	02
品牌：	金徕
原产地：	中国
类别：	工业设备 / 通用机械 / 清洗、清理设备
标签︰	真空等离子 , 高压低温等离子 , 等离子清洗机
单价：	¥10000 / 台
最少订量：	1 台

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产品描述

JL-FM系列PCB线路板等离子机

产品编号：JL-FM系列

产品规格：线路板等离子清洗洁

产品用途：等离子蚀刻，去胶渣，SMT，邦定,字符喷印前处理

PCB等离子清洗机产品参数

整机尺寸(WDH)	1700×1300×1800 mm
腔体尺寸(WDH)	1025850948 mm
腔体材料	进口316不锈钢
等离子发生器	10KW 40kHZ Camdel 美国
抽风系统	≥2立方/分钟，中央尾气处理管道即可
电极板数量	15层水平分布
处理层数	15层
单层处理最大面积	1030（W）*750（D）mm （可定制）
单次处理时间	3-30分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）
工作真空度	10～60Pa （可根据要求设定，可恒定真空度）
泵可抽极限压力	≤1Pa
抽真空时间	90s以内
破真空时间	≤15s
工艺气体	CF4 ;O2;N2;Ar;H2
供气方式	高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa
流量计调节范围	0-2000ml/min/全自动调节
温度控制调节范围	3匹速冷，30-85℃可调
真空泵系统	1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵
真空测定系统	日本爱发科皮拉尼高精密电阻式真空计
真空供气系统	Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路
真空排气系统	全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置
破真空系统	真空角阀
PLC自动控制	三菱
人机工控系统	MCGS
变频控制系统	台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持
机台温控系统	冰水模温一体机，采用内部独立中通冰水循环冷却系统
输入气压监测系统	2路日本SMC自动报警气压表
气体计量系统	SevenStar MFC气体质量流量计精确控制流量
冰水机（标配）	/
真空机组（标配）	300m³/H
系统重量	500KG
电源	AC380V，50/60Hz，三相五线100A 15KW
压缩空气要求	0.6～0.8MPa
循环冷却水用量	/
系统环境温湿度要求	温度：5℃~+25℃ 相对湿度：<80%（25℃）
环境压力	1.013×105pa

设备工作原理

PCB等离子清洗机主要是在密闭的真空反应腔体里面，通入特殊的反应气体，通过等离子体发生装置和独特的工艺控制系统，使等离子体与PCB线路板材料发生蚀刻，活化和改性作用，从而达到指定的工艺要求。

该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

应用领域

PCB等离子清洗机设备是专门为印刷电路板(PCB)行业研发的设备，以满足高到低的PCB制造生产需求。目前广泛应用于：

FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污

PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理

碳化物去除

PCB板内层预处理

化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁

SMT前焊盘表面清洁(cleaning)

PCB板BGA封装前表面清洗

去除电镀夹膜