主要特点：

  该供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比，也可根据实验需求加装洗气装置，质量流量计安装于密封的可移动机柜内，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。触摸屏控制.

技术参数：

工作电压：185~245V，50 Hz

最大输出功率：18W

流量计标准量程：5sccm、50sccm 、100sccm、 200sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

工作温度：4~45℃

工作压差：0.1~0.5Mpa

最大压力：3Mpa

准确度：±1.5%F.S

压力表测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

针阀：304不锈钢

混气罐：Φ80*120mm

截止阀：Φ6mm

尺寸：600*600*650mm