随着用于存储大量数据的表面几何空间急剧减少，微电子制造商的颗粒监测变得越来越重要。MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器的设计，满足半导体洁净室监控、工艺基准确定和颗粒故障解决的独特需要。

便携式空气颗粒计数器适用于 ISO 14464 中 ISO 1 和 ISO 2 环境部分洁净室验证。 

• 0.1 微米的灵敏度（范围 0.1 μm-1.0 μm）
• 顺序采样与可选收集器
• 排气扇在仪器运行过程中不工作，以减少颗粒的影响
• 简化了区域、位置和运行参数配置和复制的接口