CMP浆料

特点

. 金属离子含量极低 单分散体系，粒径分布均匀

.产品各批次间品质一致性高

.可自由控制粒子大小及形貌

.分散稳定，不易凝聚、沉降

.速率高，无结晶，易清先

.表面质基好，周环能力强

选型品

.蓝宝石:SPS 不锈钢:SLPS
.铝台金:AAPS
.硅片:SSPS
.砷化镓:GAPS
.硬盘:DPS

.人工体:ALPS
.陶瓷:CPS