CMZ系列超高精度三坐标测量机是天准生产的高端计量设备，采用固定桥式结构形式，可满足复杂零部件的超高精度检测需求，具有亚微米精度、高效率及性能稳定等特点，帮助实现精密加工、装配和质量控制。
①自主研发的软件、电控及探测系统，具有更好的适配性
②自主研发的21项误差补偿算法，测量机可实现计量级精度
③优化设计的主体结构和温度场分布，具有更好的精度稳定性和测量速度
④各轴采用预载空气轴承，及环抱式布局，高刚性、无接触、低摩擦
⑤采用固定桥式的高刚性机械结构, 使用花岗岩横梁、底座和立柱
⑥采用零膨胀系数光栅尺，分辨率超高达到纳米级别，且不受外界温度影响，保证机器的高精度和稳定性
⑦创新性地将直线电机技术运用到坐标测量机，更高的定位精度减少运动误差，更高的速度与加速度提高测量效率
⑧工业级精密材料碳化硅陶瓷Z轴的组合，保证了机械结构的稳定性且抗外界干扰能力强