高纯度计量泵

手动和步进控制分配泵

电子计量泵

PEM050 电子步进泵可在 PTFE 流体路径中精确分配 1-50 毫升腐蚀性介质，用于化学补充、混合、计量和加料应用。这些可靠的泵具有完全支撑的滚动隔膜，可最大限度地提高排放压力能力。正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。它们提供最多 5 个排放端口，可通过可编程系统逻辑独立控制。

• 电子控制可调行程
• 分配量高达 50 毫升
• 高精度；重复性± 0.01%
• 60 – 80 psi 能力
• 可编程系统逻辑
• 2 至 6 端口可配置

PEM050 规格表

气动泵

PPM100 气动计量泵可在 PTFE 流体路径中精确分配高达 100 毫升的高纯度化学品。它采用全支撑滚动隔膜操作，以最大程度地提高排放压力能力。两个正控制阀通过消除止回阀常见的可变性来确保准确性。

• 手动控制可调行程
• 分配量高达 100ml
• 高精度；重复性± 0.1%
• 60 – 85 psi 能力

PPM100 规格表

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PEM 操作

概述

White Knight 计量泵提供可调节的流量，可用于单晶圆处理工具或预混容器，以确保精确的化学混合物，并允许直接在头部进行现场混合。这些泵可精确分配高纯度化学品，用于补充、混合、计量和加料应用，以及清洁 CVD 设备和光刻。它们是光刻胶、蚀刻和清洁工艺、食人鱼混合物中的过氧化物加料以及在引入基材之前将化学混合物混合到工艺罐中的理想选择。

特点与优势

• 完全可调节的冲程速度
• 安全、无泄漏运行，无需维护
• 无暴露的金属，可防止腐蚀和污染
• PTFE 全覆盖流体路径，适用于超纯应用
• PTFE 滚动隔膜，带 PP 外壳
• 可轻松设置和监控的视觉位置参考
• 采用卡入式/卡出式安装，易于安装和维护
• 可任意方向安装
• 洁净室组装、测试和包装
• 泄漏检测端口
• 自吸式
• 紧凑的尺寸
• 最小滞留量
• 正入口/出口阀门可防止液体流过

规格

	PEM050	PPM100
分配范围	每冲程 1 - 50 毫升	每次冲程 10 - 100 毫升
分配重复性	± 0.01%（满量程）	± 0.1%（满量程）
每分钟循环次数	最高可达 6 CPM	最高可达 12 CPM
每循环空气消耗量SCF	1-3 标准立方英尺/分钟	0.038-0.048 标准立方英尺/分钟
流体路径材料	聚四氟乙烯	聚四氟乙烯
阀门驱动 气压	4.14 - 5.52 巴 （60 - 80 磅/平方英寸）	4.14 - 5.86 巴 （60 - 85 磅/平方英寸）
最大排气压力	3.8 巴 （55 磅/平方英寸）	5.86 巴 （85 磅/平方英寸）
温度能力	最高 100°C (212°F)	最高 100°C (212°F)
重量	2.95 千克 （6.5 磅）	1.6 千克 （3.5 磅）
吸程*	4.6 米 （15 英尺）	4.6 米 （15 英尺）
沟通	串行、以太网或数字（0-5 V、0-10 V、4-20 mA）	-
泄漏检测选项	阀门位置传感	阀门位置传感
	PEM050	PPM100

*吸力随时间减小。建议安装高度低于源头上方 4.6 米（15 英尺）。优化的参数可以提高重复性（高达 ± 0.01%）。尽量减少吸力以最大程度地提高重复性。测试在环境温度下用水进行。分配范围在全行程测量，最大和最小供应压力分别为 80 psi 和 60 psi。详情请联系 White Knight。

方面

• PEM050
• PPM100

	“A”	“B”
PEM050-02	2.7（69）	11.0（279）
PEM050-03	4.2（107）	12.5（318）
PEM050-04	4.2（107）	12.5（318）
PEM050-05	5.7（145）	14.0（356）
PEM050-06	5.7（145）	14.0（356）